全自動離子濺射儀的常見故障及其解決方法

　　全自動離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復(fù)原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
 



 

　　全自動離子濺射儀的常見故障及其解決方法：
 
　　1、當出現(xiàn)檢測器失效時如何解決
 
　　檢測器失效時的原因有4種：
 
　　①檢測器的插頭與主機板座松了；
 
　?、跈z測器本身壞了；
 
　?、坶y芯上的固定螺釘與電機轉(zhuǎn)動軸未緊固到位；
 
　?、荛y芯本身太緊不能轉(zhuǎn)動。檢查的順序依次為③-①-④-②。
 
　　2、吸樣不暢的原因及處理方法：
 
　　吸樣不暢的原因主要有以下4種，沿著"由簡單到復(fù)雜"的思路來檢查；
 
　?、贆z查管路各個接口(包括電之間的連管、電與閥之間、電與泵管之間)的連管有無漏氣，此種現(xiàn)象表現(xiàn)為不吸樣；
 
　?、跈z查泵管是否粘連或過于疲勞，此時應(yīng)更換新泵管?，F(xiàn)象表現(xiàn)為泵管發(fā)出異常聲音；
 
　?、鄹鞴艿纼?nèi)尤其是各接頭處有蛋白沉淀，此種現(xiàn)象表現(xiàn)為液速度過程定位不穩(wěn)，即使換了新泵管也是樣，解決辦法為取下各接頭用水清洗干凈；
 
　?、荛y本身有問題，要仔細地檢查。